超細(xì)碳化鎢粉研究工藝

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難熔金屬鎢合金具有一系列優(yōu)良的物理性能，在包括半導(dǎo)體制造業(yè)在內(nèi)的諸多產(chǎn)業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。超細(xì)鎢粉、碳化鎢粉以及超細(xì)鎢復(fù)合粉末是制備高質(zhì)量鎢基電觸頭材料、電子封裝材料、集成電路難熔柵和阻擋層的濺射靶材、電子發(fā)射材料等的主要原料。超細(xì)鎢粉、碳化鎢粉等的質(zhì)量直接影響著這些鎢基電子材料產(chǎn)品的最終性能，因此如何以較低成本高效地生產(chǎn)出優(yōu)質(zhì)超細(xì)鎢粉、碳化鎢粉對(duì)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)有著重要的意義。

制備超細(xì)碳化鎢粉實(shí)際上是超細(xì)鎢粉的碳化過(guò)程。鎢粉的粒度和粒度組成是影響碳化鎢粉粒度和粒度組成的最主要因素。由于碳化過(guò)程主要是靠鎢粉顆粒表面與含碳?xì)怏w反應(yīng)以及固體炭黑向鎢粉內(nèi)部擴(kuò)散來(lái)實(shí)現(xiàn)的，因此，碳化溫度、碳化時(shí)間、物料碳含量等對(duì)碳化鎢粉末粒度的影響相對(duì)較小。通過(guò)實(shí)驗(yàn)反復(fù)驗(yàn)證制定了制備碳化鎢粉的工藝制度，并制備出了粒度均勻的超細(xì)碳化鎢粉。  超細(xì)鎢粉、碳化鎢粉存在分散性、均勻性差等問(wèn)題。采用氣流粉碎分級(jí)技術(shù)可以在很大程度上消除粉末的團(tuán)聚現(xiàn)象，并且可以使粉末進(jìn)一步細(xì)化、粒度分布合理。采用氣流粉碎分級(jí)設(shè)備進(jìn)行處理生產(chǎn)效率高、能耗小，并且操作簡(jiǎn)單，容易控制。制備的超細(xì)顆粒粉末分散性、均勻性大大提高，粒度組成得到明顯改善；降低生產(chǎn)過(guò)程控制難度，徹底解決傳統(tǒng)生產(chǎn)過(guò)程中的球磨、過(guò)篩難度大的問(wèn)題，大大提高生產(chǎn)效率，縮短了生產(chǎn)周期。

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